项目编号：23ZR1425100
项目名称：5nm以下半导体芯片制造用DSA光刻材料
项目承担单位：上海复旦张江技术转移有限公司
项目负责人：钱晓飞
项目实施周期：2023.04.01-2026.03.31
项目资金：20万元
2023-05-05 23:24
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