微电子学院邓海课题组

中国授权专利:

1、邓海,李雪苗,一种高χ值嵌段聚合物的导向自组装方法,专利号:ZL2018 11013286.1

2、邓海,李雪苗,李杰,一种低淬火温度快速组装的小尺寸嵌段高分子材料及其制备和应用,专利号:ZL2017 10412631.8。

3、邓海,李雪苗,李杰,“一种高度有序的含氟高分子材料”,专利号:ZL201710758647.4。

4、邓海,胡海斌,张妍,杨振宇,“丙烯酸酯二级单体及以其聚合所得共聚物”,专利号:ZL2017 11364464.0。

5、邓海,王晨旭,李志龙,一种超高分辨率含氟含氧嵌段共聚物及其制备方法与应用,专利号:ZL2018 10863466.2

6、邓海,彭彧,一种光产酸剂及其制备方法和应用,专利号:ZL2016 11122773.2。

7、邓海,李志龙,“最高分辨率为5nm含酰胺基团含氟嵌段的纳米复合材料的制备及在DSA光刻领域的应用”,专利号:ZL201910337700.2。

8、邓海,钱晓飞,杨振宇,“一种EUV光刻胶及其制备方法与应用”,专利号:ZL201811126499.5。

9、邓海,张妍,“一种新型高宽比大于三的半导体光刻用抗刻蚀树脂组合物及其应用”,专利号:ZL201810892261.7。


中国专利申请:

1、邓海,曹敏, “一种三元有序光刻树脂和化学放大光刻胶及其制备、应用方法”,申请号:202110130429.2。 

2、邓海,李雪苗,一类高度有序的嵌段高分子材料及其制备和应用,申请号:2018109432174

3、邓海,周家诺,“一类含硅快速图形化嵌段共聚物的制备和应用方法”,申请号:202110575506.5。

4、邓海,杨振宇,钱晓飞,“一种含金属元素的感光性聚合物、组合物及其应用”,申请号:201910388391.1。

5、邓海,杨振宇,张妍,“一种感光性聚合物及其制备方法和用途”,申请号:201810558655.9。


美国授权专利:

1. H. Deng, X. M. Li, J. Li, “A RAPID SELF-ASSEMBLED SMALL-SIZED BLOCK POLYMER MATERIAL WITH LOW QUENCHING TEMPERATURE AND THE PREPARATION AND APPLICATION THEREOF”. 专利号:US 10,975,188 B2.

2. H. Deng, “WASH COMPOSITION WITH POLYMERIC SURFACTANT”. 专利号:US 7,214,474 B2.

3. H. Deng, Y. Wang, H. C. Liou, H. K. Choi, R. P.Meagley, E. Putna, “IMMERSION LIQUIDS FOR IMMERSION LITHOGRAPHY”. 专利号:US 7,391,501 B2.

4. H. Deng, H. C. Liou, “ZEOLITE-CARBON DOPED OXIDE COMPOSITE LOW K DIELECTRIC”. 专利号:US 7,303,985 B2.

5. H. Deng, “ZEOLITE-SOL GEL NANO-COMPOSITE LOW K DIELECTRIC”. 专利号:US 7,674,390 B2.6. 

6. H. C. Liou, H. Deng, Y. Wang, H. K. Choi, “LANGMUIR-BLODGETT CHEMICALLY AMPLIFIED PHOTORESIST”. 专利号:US 6,864,192 B1.

7. Y. Wang, H. C. Liou, H. Deng, H. K. Choi, “METHODS AND COMPOSITIONS FOR REDUCING LINE WIDE ROUGHNESS”. 专利号:

US 7,867,687 B2.

8. D. L. Gin, E. Kim, H. Deng, D. Gray, W. Fischer, R. C. Smith, “NANOCOMPOSITES, NANOPOROUS POLYMER MEMBRANES AND CATALYSTS”. 专利号:PCT/US98/06409.