项目编号：18511104900
项目名称：高端半导体芯片制造用超高分辨率新型DSA光刻材料
项目承担单位：复旦大学
项目负责人：邓海
项目实施周期：2018.07.01-2020.06.30
项目资金：180万元
2023-05-05 23:30
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