微电子学院邓海课题组

微电子材料课题组

课题组组长:邓海教授、博士生导师
课题组主要研究方向:                                    

下一代3 nm节点先进半导体芯片制造用的光刻胶和光刻工艺的研发

1)10 nm~5 nm分辨率DSA光刻材料研发,探索Moore's Law的材料极限,研发下一代高分辨率的DSA和高端光刻材料;精密合成序列可控有机材料;
2)10nm~5nm尺寸的纳米材料和器件的精密设计和制备


课题组动态

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通知公告

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09 10
复旦大学微电子学院邓海教授课题组...

一、导师和课题简介:邓海 教授,复旦大学微电子学院&聚合物分子工程国家重点实验室,博士生导师。曾在加州伯克利大学化学系深造,回国前为美国知名半导体公司光刻材料...

02 07
复旦大学微电子学院邓海教授课题组...

一、导师和课题简介:邓海 教授,复旦大学微电子学院&聚合物分子工程国家重点实验室,博士生导师。曾在加州伯克利大学化学系深造,回国前为美国知名半导体公司光刻材料...

25 06
复旦大学微电子学院邓海教授课题组...

一、导师和课题简介:邓海 教授,复旦大学微电子学院&聚合物分子工程国家重点实验室,博士生导师。曾在加州伯克利大学化学系深造,回国前为美国知名半导体公司光刻材料...

11 06
复旦大学微电子学院招聘青年副研究员

邓海 教授,半导体芯片光刻材料专家,复旦大学微电子学院教授、聚合物分子工程国家重点实验室PI,国家级人才计划专家、博士生导师。邓海课题组是微电子学院重点扶持的光...

11 06
复旦大学微电子学院招聘'Qq'研究员...

​邓海 教授,半导体芯片光刻材料专家,复旦大学微电子学院教授、聚合物分子工程国家重点实验室PI,国家级人才计划专家、博士生导师。邓海课题组是微电子学院重点扶持的...

10 06
复旦大学微电子学院邓海课题组招聘...

【课题组简介】导师:邓海 Hai Deng 博士,复旦大学微电子学院,聚合物分子工程国家重点实验室,教授,博士生导师。师从活性自由基聚合的世纪著名学者Sawamoto教授,曾...

24 04
关于解除与上海新阳合作的通知

​邓博士退出了上海芯刻微公司,不再占公司任何股份;邓博士不再与上海新阳半导体公司有任何合作关系

友情链接:广州微纳光刻材料有限公司